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黑色線熱敏電阻的電阻溫度系數(shù)介紹?在半導(dǎo)體中,金屬互連層(鋁或銅)的阻值在常溫附近的范圍內(nèi)與它的溫度具有線性關(guān)系,這也是半導(dǎo)體測(cè)試中金屬互連線經(jīng)常被用來(lái)作為溫度傳感器的原因。半導(dǎo)體中用電阻溫度系數(shù)來(lái)表征金屬的阻值和它的溫度之間的關(guān)系。電阻溫度系數(shù)表示單位溫度改變時(shí),電阻值(電阻率)的相對(duì)變化。
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電阻溫度系數(shù)并不恒定而是一個(gè)隨著溫度而變化的值。隨著溫度的增加,電阻溫度系數(shù)變小。因此,我們所說(shuō)的電阻溫度系數(shù)都是針對(duì)特定的溫度的。
對(duì)于一個(gè)具有純粹的晶體結(jié)構(gòu)的理想金屬來(lái)說(shuō),它的電阻率來(lái)自于電子在晶格結(jié)構(gòu)中的散射,與溫度具有很強(qiáng)的相關(guān)性。實(shí)際的金屬由于工藝的影響,造成它的晶格結(jié)構(gòu)不再完整,例如界面、晶胞邊界、缺陷、雜質(zhì)的存在,電子在它們上面的散射形成的電阻率是一個(gè)與溫度無(wú)關(guān)的量。因此,實(shí)際的金屬電阻率是由相互獨(dú)立的兩部分組成。
電阻溫度系數(shù)是一個(gè)與金屬的微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)的一個(gè)參數(shù),在沒(méi)有任何缺陷的情況下,它具有理論上的最大值。也就是說(shuō),電阻溫度系數(shù)本身的大小在一定程度上表征了金屬工藝的性能。在新技術(shù)工藝的研發(fā)過(guò)程或在線監(jiān)測(cè)中,我們可以利用電阻溫度系數(shù)對(duì)金屬的可靠性進(jìn)行早期監(jiān)測(cè)與快速評(píng)估。